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專項設備—晶圓OCR自動識別

競爭激烈的全球半導體產業要求生產過程誤差為零,需要在整個后端處理過程中跟蹤晶圓,晶圓的識別讀取需要有極高的可靠性,盡量減少人為干預。
一般工業相機軟件無法處理不同字體、不同長度、不同背景顏色的晶圓字符,人工智能軟件需要大量的時間和工作量進行學習,而輸出的結果成功率無法達到要求。
泰治為封測工廠開發晶圓刻號自動讀取設備,利用先進的晶圓刻號識別算法,結合系統復核,保證100%準確識別,同時,識別過程高度自動化,最大限度的避免人為因素的影響。

功能特點:

1.掃描隨工單lot,獲取并顯示批次信息和device;
2.根據device,調相機相應JOB和相應程序;
3.多種相機觸發方式:操作界面按鈕觸發、物理按鈕觸發;
4.獲取相機讀取字符與批次信息比對,比對通過打印相應標簽;
5.自動核驗打印的標簽;
6.打印信息記錄并可選擇導入(根據選擇時間以表格的形式導出打印信息);
7.抓取WS站別的程序名,并沿用作為本站本批程序名;
8.掃描批次信息自動入站,作業完自動出站(增加入站、出站按鍵,觸發出入站);
9.自動獲取角度信息,OP按ring固定位置擺放Wafer,隨后工作盤自動旋轉,按照程序給定角度將刻號旋轉至相機處;
10.掃描結束統一旋轉工作盤,將ring恢復到指定位置,方便貼標;
11.程序管理:泰治系統可根據需要替換指定位置為指定字符;
12.紅燈閃爍&音響報警:識別錯誤、核驗/打印標簽失敗、吸真值不達等報警時,設備會亮紅燈并語音播報報警內容;
 13.特色打印機小程序:由標簽機自身原因,如缺標簽/碳帶、碳帶褶皺等導致的標簽復核NG,可手動再次觸發打印標簽。


通過工業相機將晶圓字符轉換為圖像信號,傳送給圖像軟件處理系統,根據像素分布和亮度等信息,轉變成數字信號。 圖像軟件處理系統將該字符串與判定字符串進行核對,實時提供字符匹配檢測信息和統計數據,實現自動化識別晶圓信息,避免錯記、漏記等問題的發生,為產品溯源管理做好準備。


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