在晶圓制造過程中，CDA（Compressed Dry Air，空壓系統）作為重要的動力源，其能耗問題一直是廠務部門的關注重點。過高的能耗不僅增加企業的運營成本，還與當下節能環保的理念背道而馳。如何有效進行CDA能耗分析與優化，成為眾多晶圓廠亟待解決的難題。 
問題難點
1、數據來源多

需要分析CDA的能耗情況，必須綜合自控系統、離線計量儀器以及手工填報等數據進行分析，這些數據口徑不一、未經梳理，很難整合應用。
2、分析建模難

能耗異常的原因有很多，有偶然原因的異常（如某臺設備故障導致的能耗異常），也有長期消耗量較大的原因（如工藝設定不當導致的能耗異常），很難有一套分析方案可以覆蓋全部異常場景。
3、優化方案難

即使能分析到影響能耗的異常因素，也很難確定優化方案，如關鍵參數到底需要調整到多少才能達到能耗最優的結果。
解決方案

泰治科技自主研發的TZDAS系統是一款通用型數據分析產品，以先進的統計學和數據分析算法為基礎，為制造、化工、教育、金融等行業，提供精益質量管理、工藝改進、新品研發、故障檢測、持續改善等方面的數據分析和管理建議，幫助企業科學的提升良率、降低成本、改善管理。

用戶通過拖拽式的簡單操作就能夠構建起專業的數據分析模型和數學模型，幫助客戶在統計學知識不足的情況下，也能輕松進行可視化、探索分析、數據挖掘等。快速從人機料法環的海量數據中找到影響生產經營的關鍵因素，并制定和實施針對性最強的改善方案。



泰治科技TZDAS 系統

泰治科技TZDAS 系統泰治科技TZDAS系統集各種國際同類產品的優勢于一身，不僅僅是國產化的JMP，也相當于“可拖拽的Excel，帶統計分析的FineBI，體驗更好的Minitab，更易用的Matlab”。

案例分析

某晶圓廠需要優化CDA能耗，即確保在既定時間內產出規定產量的壓縮氣體時，并且盡可能降低使用的能耗。



趨勢分析、分布分析，鎖定偶然原因的能耗異常

廠務工程師通過泰治科技TZDAS系統，整合自控系統、計量儀器、手工臺賬等能耗相關數據，建立“產量-能耗”分析模型。

通過分布分析、趨勢分析，鎖定偶然原因導致的能耗異常，發現工作日和周末能耗模式差異大，工作日能耗波動大且整體水平高；通過散點圖矩陣、假設檢驗等功能，探索設備參數與能耗之間的關系，發現壓力升高時能耗非線性增長，且設備連續運行時間與能耗正相關性極高，設備連續運行時間是影響能耗的關鍵因素。



探索多種因素與能耗之間的關系

進行初步的探索分析后，廠務工程師使用TZDAS 系統內的建模功能，一鍵建立產耗比與設備工作時間的模型，系統內置多種機器學習算法進行建模，篩選最優模型，并提供優化的建議。





機器學習算法建模，篩選最優模型

隨后，工程師根據系統提供的建議進行現場驗證，確認效果后制定優化方案，如根據任務情況調整空壓機開啟數量和連續運行時間，用氣量需求低時減少空壓機臺數，采用變頻技術等方案在確保產能的前提下降低能耗。

實施策略后監測一個月，CDA能耗降低 12%，節能效果顯著。


方案價值
泰治科技TZDAS系統在多家制造業客戶穩定運行，取得客戶的一致好評。系統結合大數據技術和人工智能算法，為企業提供智能化的數據分析服務，用科學的理論和方法替代直覺，打破數據孤島，實現數據驅動管理，提升協同效率，助力企業降本增效。